1、战国时期初步形成。新兴地主阶级从加强专政和保护封建经济发展的需要，初步确立了君主集权的政治体制。
2、秦朝正式建立。秦始皇统一中国后，把专制主义的决策方式和中央集权的政治制度有机地结合在一起，正式建立了专制主义中央集权的政治制度。
3、西汉巩固。汉武帝又实行“罢黜百家、独尊儒术”的文化政策，找到了封建专制主义中央集权政治制度所需要的理论基础。从此封建专制主义政治制度基本定型并得以巩固。
4、隋唐完善。实行三省六部制，克服了君权与相权的矛盾；实行科举制，提高了行政效率，扩大了统治基础，使专制主义中央集权制度进一步完善。
5、北宋加强。北宋初年，大力加强中央集权．解决了藩镇割据和武将争权的问题，中央集权制度进一步加强。
6、元朝新发展。加强了中央集权。
7、明朝空前强化。
8、清朝达到顶峰。清朝沿用明制，增设军机处，大兴文字狱，专制主义中央集权制度达到了顶峰。